分类
检测设备
AMG-5000 无图形晶圆形貌测量系统
APG-5000 有图形形貌测量系统
AWG-5000 集成式形貌测量系统
AP7XP 无图形晶圆缺陷检测系统
AP5XP 无图形晶圆缺陷检测系统
AP3 无图形晶圆缺陷检测系统
H系列/HB系列 有图形晶圆明/暗场缺陷检测
E3500 SiC衬底/外延缺陷检测系统
E3200 GaN衬底/外延片缺陷检测系统
E1000 InP/GaAs/LT/玻璃缺陷检测系统
H2000 化合物半导体图形晶圆缺陷检测系统
E500 化合物晶圆宏观缺陷检测系统
SPI-300 化合物晶圆形貌测量系统
Falcon 系列 LED照明行业缺陷检测系统
RTC6.5 MOCVD原位监测设备
VRT940B 温度反射率测量仪
T405 晶圆表面温度测量仪
VT940B多通道光纤测温仪
AK-mPyro 小体积红外测温仪
其他封测设备
Scanpyro 温场扫描系统
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