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AP7XP 无图形晶圆缺陷检测系统
AP5XP 无图形晶圆缺陷检测系统
AP3 无图形晶圆缺陷检测系统
温场扫描系统Scanpyro,用于具有狭缝型观察窗的MOCVD腔体上,扫描整个石墨盘及上面晶圆的温场分布
配置自动平移台,监测过程中,自动扫描整个盘面
数据可用来分析温度分布情况,为调整腔体加热提供可靠的依据,提高温度一致性
图像化显示界面,易于使用
可根据用户腔体定制
型号: AK-mPyro 小体积红外测温仪
型号: VT940B/VT1550B 多通道光纤测温仪
型号: T405 晶圆表面温度测量仪
型号: VRT940B 温度反射率测量仪
昂坤视觉(北京)科技有限公司
91360106MA38LE7K02
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