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AP7XP 无图形晶圆缺陷检测系统
AP5XP 无图形晶圆缺陷检测系统
AP3 无图形晶圆缺陷检测系统
小体积,多种波长可选, 多用途测温,可用于外延设备,快速退火设备,MBE设备,离子注入设备等
体积小,可用于狭小空间,安装多个探头的应用
高精度,重复性±0.1ºC
接口丰富,可定制EtherCAT接口,直接接入设备的控制网络
型号: VT940B/VT1550B 多通道光纤测温仪
型号: T405 晶圆表面温度测量仪
型号: VRT940B 温度反射率测量仪
型号: RTC6.5 MOCVD原位监测设备
昂坤视觉(北京)科技有限公司
91360106MA38LE7K02
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