型号： PVT法长晶炉——感应炉

型号： PVT法长晶炉——电阻炉

型号： HVPE 法单晶生长设备 —立式

型号： HVPE 法单晶生长设备 —卧式

型号： LPCVD 设备

型号： LPCVD设备

型号： 氧化/扩散/退火炉

型号： ALD设备