产品应用/Product Applications：

适用领域：单晶生长

Relevant Industries:  Single Crystal Growth

适用材料:  Si、AIN

晶圆尺寸:  12/8 英寸

Wafer Size: 12/8 inch

技术指标 /Technical Parameters：

制程温度范围：2400°C

Process Temperature Range: 2400°C

加热方式：感应/电阻