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压力范围:键合压力:100KN
温度范围:键合温度:550℃ ( 可选 )
精度:对位精度:≤ 1μm
倒装焊接机
热压键合设备
晶圆对准单机
全自动高真空晶圆键合设备用于射频、惯性、光电、信号传输等 微系统晶圆级封装,高端 MEMS、高性能逻辑器件等同质异质键合, 尤其适用于低温键合。 可选配模块有烘烤模块、激活模块、对位模块、键合模块以及冷 却模块,根据用户需求灵活选择。
型号: zdkdryjs
型号: ZDK-
型号: zdk-dryjs
中国电子科技集团公司第二研究所
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