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全自动高真空晶圆键合设备
报价:面议
品牌:
产地: 山西
关注度: 12
型号: -ZDK
核心参数

压力范围:键合压力:100KN

温度范围:键合温度:550℃ ( 可选 )

精度:对位精度:≤ 1μm

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产品介绍

全自动高真空晶圆键合设备用于射频、惯性、光电、信号传输等 微系统晶圆级封装,高端 MEMS、高性能逻辑器件等同质异质键合, 尤其适用于低温键合。 可选配模块有烘烤模块、激活模块、对位模块、键合模块以及冷 却模块,根据用户需求灵活选择。

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工商信息
企业名称

中国电子科技集团公司第二研究所

企业类型

信用代码

12100000405747137X

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