产品详情

1.高生长速率、低缺陷密度。

2.横向纵向生长比率高、孔洞少，可以生长大面积厚膜。

3.外延速率：≥200微米/小时。

4.氧化镓异质外延厚度：>10微米。

5.外延片尺寸：2/4/6/8英寸。

1.高生长速率、低缺陷密度。

2.横向纵向生长比率高、孔洞少，可以生长大面积厚膜。

3.外延速率：≥200微米/小时。

4.氧化镓异质外延厚度：>10微米。

5.外延片尺寸：2/4/6/8英寸。