产品详情

1.适用于6/8/12英寸，导电/高纯半绝缘型SiC晶体生长。

2.适用于长时间、高质量、规模型晶体生长。

3.拥有高精度的控温、控压能力、工艺性能优良、设备一致性好,具有丰富的量产经验。

4.可选恒功率、恒电流、恒温工作模式。

5.一键智能启动、减少人工干预、利于规模化生产。

6.紧凑立体化的整机设计、方便布局、提高厂房利用率。

7.采用高精度蝶阀和质量流量计控制炉内长晶压力，提供稳定的长晶气氛。尤其在晶体生长压力下最高可达到士1Pa的控压精度。