产品详情

1.结构紧凑、可采用并排布局，提高厂房利用率。

2.可兼容电阻或感应加热热场。

3.可配备多个加热器独力控制，工艺调试窗口大，便于同时控制轴向和径向温度梯度。

4.底部水冷坩埚轴带有中空测温孔、顶、底、侧均可配红外测温，便于温场监控和工艺调试。

5.可选恒功率、恒电流、恒温工作模式。

6.满足6-8-12寸半绝缘/导电晶体生长需求。