技术指标：
最大工作物尺寸 | mm | ø12" |
主轴 | 配置方式 |
| 单轴 |
转速 | Rpm | 3,000-60,000 |
输出功率 | kW | 1.8(2.4可选) at 30,000min-1 |
最大刀片径 | mm | Ø58 |
X轴 | 可切割范围 | mm | 310 |
Y轴 | 可切割范围 | mm | 310 |
单步步进量 | mm | 0.0001 |
定位精度 | mm | 0.003以内/310 0.002以内/5（单一误差） |
Z轴 | 移动量分辨率 | mm | 0.00005 |
重复精度 | mm | 0.001 |
θ 轴 | 最大旋转角度 | deg | 380 |
主轴形式 |
| 单主轴，安装硬刀盘做环形切割 |
环切精度 | μm | ±50 |
晶圆定位精度 | μm | ±50 |
单片效率 | min/片 | 8 |
多片效率 |
| 最多4片同时加工 |
设备重量 | Kg | ≈3,200 |
设备尺寸/ W*D*H | mm | 2,730*1,550*2,070 |
使用条件：
• 请使用大气压露点在-15 ℃以下残余油分为0.1 ppm，过滤度在0.01 μm/99.5 %以上的清洁压缩空气。
• 请将放置机械设备的房间室温设定在20 ℃〜25 ℃之间，并将波动范围控制在±1 ℃以内。
• 请将切削水的水温控制为室温+2 ℃（变化波动范围在±1 ℃以内），将冷却水的水温控制为与室温相同（变化波动范围在±1 ℃以内）。
• 其他，请避免设备受到撞击及外界的有感振动。另外，请不要将设备安装在鼓风机、通风口、产生高温的装置及产生油雾的装置附近。
• 本设备会使用水。万一发生漏水影响，请把本设备安装在有防水性之地板及有排水处理之场所。
• （*）为非标准配置。
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