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碳化硅单晶炉SCMP系列感应加热PVT
报价:面议
品牌: CGEE
产地: 南京
关注度: 20
型号: SCMP
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SCG200系列半导体级单晶硅炉

多线切割机SCMWC10

氮化铝长晶炉ANET600系列

产品介绍

应用领域:主要用于生产6-12英寸碳化硅单晶衬底。

4hpicl.jpg

产品描述

参数项目

技术指标

设备型号

SCMP460SCMP570SCMP670

设备尺寸

1356x4000x3300mm1356x2400x3360mm1426x2600x3900mm

适用衬底尺寸

6英寸8英寸12英寸
长晶方法

PVT

最高使用温度

2400℃

真空系统

极限真空5x10-4Pa,压升率≤5Pa/12h

气路系统

气体类型:Ar、N₂、H₂等



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南京晶升装备股份有限公司为您提供CGEE碳化硅单晶炉SCMP系列感应加热PVT,碳化硅单晶炉SCMP系列感应加热PVT产地为南京,属于单晶炉,除了碳化硅单晶炉SCMP系列感应加热PVT的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供SCG200系列半导体级单晶硅炉、多线切割机SCMWC10、氮化铝长晶炉ANET600系列。
工商信息
企业名称

南京晶升装备股份有限公司

企业类型

信用代码

91320192589410351R

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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