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12寸全自动衬底抛光FTB300FP
碳化硅电阻炉
12寸全自动衬底抛光
LAC200是一款经济型8寸晶圆清洗设备,采用水气二流体系统产生高压喷雾,喷雾冲击产品表面和切割道,用于晶圆切割后的高效清洗。
特点:
高能效:占地空间小,能效高,静音性好
高适用性:满足3~8英寸晶圆,最大可以对应250*250方盘
操作便捷:快速设定多种清洗模式,操作简单
型号: FTB150MP
型号: FTB300FP
型号: JX300FP
型号: ATW-280
无锡松瓷机电有限公司
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