碳化硅长晶炉是一种在特定环境下，使碳化硅原料经过气相传输、化学反应等过程，运用电阻加热的方式在籽晶上生长出高品质的碳化硅单晶的设备。

特点：

高精度智能化控制系统，高效率高稳定性

多温区高精度控温

全自动智能控制系统

支持远程集控

高效率高稳定性

高精度控压