FTB150MP是根据实验室客户需求开发的实验用6英寸CMP设备。该设备适用于多种材料，配备性能优越的抛光单元，可实现晶圆表面的超高平整度，性价比高、是满足高精度制程的实验室解决方案。

特点：

体积小：单头单盘高度集成化结构

工艺搭配灵活：高刚性结构可施加更高的压力，同时可搭配金刚石、尼龙毛刷等各种修整器。

高性价比：高性价比的实验室解决方案