磨抛设备

• 边缘抛光
• 研磨设备
• 滚圆设备

晶圆

• 碳化硅衬底
• 蓝宝石

切割设备

• 线切设备
• 切断设备

热处理设备

• 8英寸「单片式硅外延生长炉』

单晶炉

• 长晶设备

减薄设备

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