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晶盛机电研发的8英寸单片式硅外延生长炉,可兼容6英寸、8英寸硅晶片生长,结构可靠稳定,有较好的膜厚和电阻均匀性
型号: JSG-120
型号: JSG-192
型号: JSG-19
型号: JSG-183
浙江晶盛机电股份有限公司
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