型号： E1000 InP/GaAs/LT/玻璃缺陷检测系统

型号： E3200 GaN衬底/外延片缺陷检测系统

型号： E3500 SiC衬底/外延缺陷检测系统

型号： H系列/HB系列 有图形晶圆明/暗场缺陷检测

型号： AP3 无图形晶圆缺陷检测系统

型号： AP5XP 无图形晶圆缺陷检测系统

型号： AP7XP 无图形晶圆缺陷检测系统

型号： AWG-5000 集成式形貌测量系统

型号： APG-5000 有图形形貌测量系统

型号： AMG-5000 无图形晶圆形貌测量系统