控制智能化

适用于生产高质量6吋/8吋碳化硅晶体生长

产品特点

控制智能化

可导入多种预设长晶方式，根据使用需求进行一键切换。

工艺适配性好

可配备双加热器并独立控制，便于调整温度梯度。

运行稳定性强

水冷坩埚轴、籽晶轴旋转平稳；气压温度闭环控制，控制精度高。

其他优势

热场安装方便，籽晶液面接触检测，液面视觉检测。

技术参数