超大直径单晶炉
用于半导体用超大尺寸硅部件晶体生长
产品特点
超大直径单晶炉
世界首台拉制超大直径晶体单晶炉,拉制24英寸晶体单晶炉。
大口径旋片阀
大口径旋片阀有效降低设备高度，提高稳定性。
控制算法先进
先进的控制算法确保晶体品质。
水冷环提效
设计水冷环，提高生产效率。
预留磁场安装空间
可预留磁场升降机构安装空间。
最大晶体直径550mm
可拉晶体直径:Max~φ550mm。
技术参数
| 型号 | KX380-650P |
| 炉室直径 | Φ1600mm |
| 副室直径 | 650mm |
| 旋片阀喉口直径 | Φ500~650mm |
| 可拉晶体直径 | Max~Φ550mm |
| 热场尺寸 | Min~32inch-Max~40inch |
高级会员
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