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LP062型精密研磨抛光机
是一款双工作站台式设备,专为6英寸及以下晶圆的精密研磨和抛光设计,磨抛盘直径为400mm。
该设备支持2个精密夹具,能够同时进行高效的研磨和抛光作业。
采用双蠕动泵供液系统,并配备单滚筒搅拌功能,有效防止料液沉淀,确保供液稳定均匀。
摆臂可选配主驱电机功能,进一步提升研磨抛光效率。
型号: CMP抛光机
型号: 精密研磨抛光机-LP064
型号: 高精密研磨抛光夹具
型号: 精密研磨抛光机-LP061
苏州铼铂机电科技有限公司
91320581MA2222JK3R
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