YH2MG84系列⽴式⾼精度双⾯研磨（抛光）机

本系列机床主要⽤于碳化硅、蓝宝⽯、氮化镓、氧化锆、氮化硅、氮化铍、氧化铝、氮化铝陶瓷等材料制作的薄⽚零件的⾼精密双⾯研磨抛光，可实现零件两平⾯的⾼精度加⼯要求。

设备亮点

（1）独特上盘浮动定盘加工技术：可实现高精度双面研磨。

（2）静压轴承支撑技术：确保极高下盘端面跳动和支撑刚性，达成产品高要求目标。

（3）上盘配置实时在线测量系统：可实时检测被磨削产品厚度。

（4）上盘钢丝悬挂平衡结构：可实现上盘自适应浮动同时带阻尼功能。

（5）下盘高精度、高稳定性：外齿圈油压升降，下盘保持固定。

（6）精密伺服比例阀：上盘加压，压力精准可控。

技术参数