Saturn系列设备运用激光共聚焦螺旋扫描成像技术，集成了明场、暗场、形貌、相位和多个PL等检测通道，能够全面、精准地检测抛光衬底片、外延片的颗粒与缺陷。此外，Saturn系列设备还具备自动实时对焦功能，能够有效克服晶圆翘曲带来的成像离焦问题，确保检测结果的准确性和可靠性。这款产品的推出，将为半导体材料的品质控制和工艺优化提供有力支持。