JHQ-410系列激光划片机,配置进口激光器,加工效率高,质量稳定, 设备简单易操作;提供传统矩形GPP晶圆的全切割/半切割划片方式, 可升级提供六边形划切(三角形切割方式)。
全系列产品分为四款设备:
JHQ-41 0. JHQ-410Z两款设备支持划切产品为正面沟槽去除玻璃后的 GPP产品或晶圆背面制作标记图形的产品。正面对准正面划切,不支持 底部对准功能。
JHQ-41 0D和JHQ-41 0DZ两款设备拥有独特的双光路系统,为单面光 刻晶圆提供了背面划切方案与背面打标方案。正面对准正面/背面划切, 支持底部对准功能。