WEP150/WEP200主要用于硅片、碳化硅、蓝宝石等硬脆材料晶圆边缘倒角面的抛光，包括斜面、外圆面，以及参考面斜面的抛光。目前市场边缘抛光以8寸及12寸晶圆加工为主，且以进口设备为主。该产品专门针对6-8寸晶圆加工开发，填补市场空白。