CVD-SiC涂层晶舟（碳化硅晶舟是晶圆氧化扩散环节的核心承载部件，主要用于承载硅片。对纯度要求极高（超99.999%），金属粒子含量需严格控制。CVD-SiC涂层依托耐磨损、耐腐蚀、耐高温冲击、抗电浆轰击等核心优势，搭配高温承载力强、高导热、高散热的特性，其能适配半导体扩散制程的严苛工况。 ）