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碳陶喉衬
加热器
碳碳复合材料
Si外延石墨载盘是半导体硅外延工艺的核心承载部件,通常以高纯度石墨为基体,表面制备致密 CVDSiC 涂层,具备优异的热稳定性、化学惰性与洁净度,可保障外延层均匀生长与晶圆良率。
型号: 热解碳涂层
型号: 导流筒
型号: 加热器
型号: SiC外延用碳化硅涂层石墨件
河南锐瓷科技有限公司
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