设备信息

用于晶片自动检测，适用于2-6英寸晶片，主要针对晶片精准的多点测量，准确的测量出晶体在生长过程中，内部晶格的变化量，为晶体生长的一致性给出指导性数据。设备精度为±30”，小读数1”（精度可根据要求升级）

适用晶体

压电晶体、碳化硅、砷化镓、磷化铟等III-V族化合物