抛光机

300mm晶圆全自动最终抛光机，专为极高的边缘轮廓和均匀去除率设计

特点

畅销款300毫米最终抛光机。

实现原子级超镜面和高亮度表面。

抛光台有3个平台，第1、2、3平台可同时抛光6片品圆

最适合需要大量抛光去除的晶圆和TSV晶圆的解决方案。

规格