采用感应加热方式，在石英管/不锈钢腔体内以物理气相传输法（PVT）生长高纯SiC晶体。
6 ~ 8英寸 碳化硅长晶炉 （电阻式） |
晶体尺寸 | 6 ~ 8英寸 |
工艺 | PVT |
加热方式 | 电阻式 |
基本参数 | 主机尺寸 | W3250 x D5200 x H4950mm |
整机重量 | 约5T |
支持系统 | 电 源 | 容 量 | 180kVA |
电 压 | 380VAC±10% , 3P, 50/60Hz |
冷 却 水 | 压 力 | 0.2 ~ 0.5MPa |
流 量 | ＞200L/min |
工艺气体 | 压 力 | ＞0.2MPa |
压缩空气 | 压 力 | 0.5 ~ 1.0MPa |
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