采用感应/电阻式加热方式，在不锈钢腔体内以液相法生长SiC晶体，并可兼容物理气相法(PVT)。

可提供半定制化服务

高真空

腔体内壁经镜面抛光，减少气体附着；

各表面严密结合，避免产生泄露；

大抽速泵体，实现快速抽空功能；

高密封性阀体，实现长时间的真空保压。

高精密

高精度数控加工部件；

精密传动部件；

高品质电控系统；

实现运动系统的高精度控制，重复定位无偏差。

全自动

自主开发系统，实现全自动过程；

兼容各种工艺操作流程；

操作权限分级，减少误动作；

自主研发异地网络远程监控SiC操作系统——安全，可靠，便捷，实现无人值守远程控制。