半导体在线讯 Micro-LED被公认为继OLED之后的下一代颠覆性显示技术,它具备超高亮度、超高对比度、超快响应速度、超长寿命以及低功耗等优势,在AR/VR/MR头戴设备、智能穿戴、车载显示等微显示领域,拥有无可替代的应用前景。
Micro-LED显示技术利用Micro-LED器件构成独立的像素单元,由驱动电路独立控制显示面板上每个像素单元发光而形成图像。因此,从构成组件上来说,Micro-LED显示主要由Micro-LED像素单元和驱动电路两部分组成。Micro-LED器件的基本原理和结构与传统照明芯片类似,其外延结构主要包括n型半导体层、有源区量子阱和p型半导体层,即典型的p-i-n型二极管结构。

为了实现全彩显示,每个像素单元需要由红绿蓝(RGB)三色芯片构成。目前,全彩化主要有两种技术路线。第一种是直接采用红绿蓝三色芯片,这种方案中蓝绿光芯片采用Ⅲ族氮化物半导体材料,而红光则采用Ⅲ族磷化物半导体材料。第二种是采用色转换原理,利用蓝光芯片激发绿光和红光量子点材料,或利用紫光芯片激发蓝绿红光量子点材料。
在显示驱动电路方面,Micro-LED新型显示技术多采用有源驱动电路,通常每个像素均配备具有开关功能的晶体管和电荷存储电容,可以对每个像素进行独立控制。根据不同应用场景和Micro-LED像素单元大小,通常会采用不同类型驱动晶体管。对于像素密度在上千PPI以上的显示应用(如AR/VR眼镜等),多采用的是硅基互补金属氧化物半导体器件(CMOS)。
如何实现高效率、高均匀性的红、绿、蓝三色Micro-LED芯片的制备,并将其与成熟的硅基CMOS驱动电路进行高精度、大规模集成,一直是横亘在产业化道路上的重点难题。
南京大学联合元旭半导体、国兆光电等企业,在氮化物Micro-LED微显示技术上取得重要进展,成功探索出“芯片键合”和“晶圆键合”两种微显示芯片集成技术路线,并率先实现了氮化镓基红光Micro-LED微显示屏原型样机。
其中,“芯片键合”路线通过红、绿、蓝三色Micro-LED芯片与硅基CMOS驱动芯片的高精集成,成功点亮氮化镓基红绿蓝单色Micro-LED微显示屏,为氮化镓基红光Micro-LED用于10微米以下微显示屏的技术路线奠定了系统集成基础。为进一步推进更高分辨微显示技术,团队研制了高波长均匀性的8英寸硅基Micro-LED晶圆,通过与8英寸硅基CMOS驱动晶圆键合工艺,制备出高性能蓝光微显示屏,规避了芯片对准瓶颈,展现出大尺寸工艺兼容性与规模化制造潜力。
该成果不仅验证了氮化镓基红光Micro-LED微显示屏技术应用的可行性,还探索出与硅基CMOS工艺兼容的8英寸集成方案,为AR等近眼显示应用的产业化奠定了基础。

图源:第三代半导体产业
2026年5月20-21日,中国粉体网将在江苏•苏州举办“2026AR/VR眼镜核心技术与应用大会”。届时,我们邀请到南京大学庄喆副教授出席本次大会并作题为《硅基CMOS驱动氮化镓基Micro-LED微显示技术》的报告。报告将介绍团队关于氮化镓基Micro-LED微显示技术的研究成果。
专家简介
庄喆,南京大学集成电路学院副教授,教育部长江学者奖励计划青年学者。曾赴英国谢菲尔德大学访问研究,沙特KAUST做博士后。长期从事宽禁带半导体材料与光电器件研究,在Science Advances、Nature Communications、IEDM等发表论文90余篇,研究成果被国际科技媒体累计报道40余次,申请/授权20余件发明专利。主持国家重点研发计划青年科学家项目、国家自然科学基金、江苏省自然科学基金、苏州市姑苏创新创业领军人才计划等,获中国产学研合作创新成果奖。

参考来源:
第三代半导体产业、元旭半导体
庄喆等:Micro-LED新型显示技术的现状、挑战及展望
严群等:Micro-LED显示光提取与光整形技术研究进展