抛光垫

多孔性对抛光液具有良好的储存性能，保持抛光效率的稳定性。

产品特点：

(1)由聚氨酯树脂发泡制成，具有较强的耐磨性和多孔性；

(2)耐磨性可使抛光垫持续保持优异的平坦度；

(3)多孔性对抛光液具有良好的储存性能，保持抛光效率的稳定性。

可供规格：

注：

(1)开槽抛光垫最小厚度1mm；

(2)标准槽深为抛光垫厚度1/2；

(3)可以为客户不同开槽要求定制。

应用领域：

广泛用于碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆、硅晶圆、陶瓷材料、金属及合金、 硬盘等产品的高速平面抛光。