碳化钽涂层是用青岛高泰专有的化学气相沉积(CVD)工艺，在高纯度石墨基底表面气相沉积碳化钽 (TaC)制备而成。
优势
● 卓越的耐热性
● 防止石墨基底颗粒分离、气体及杂质释放
● 出色的抗腐蚀性
应用
● 碳化硅(SiC)单晶生长部件
● 碳化硅外延生长部件
● MOCVD 部件
● 高温部件
性能
项目 | 单位 | 数值 |
厚度 | μm | 30~50 (可定制) |
密度 | Mg/m3 | 14.5 |
熔点 | ℃ | 3985 |
硬度 | HK | 1550 |
电阻率 | μΩ・m | 0.15 |
热导率 | W/m・K | 9-22 |
热膨胀系数 | 10-6/K | 7.1 |
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