碳化硅衬底由于硬度高， 脆性大等特点， 给抛光带来了极大的难度。安储科技开发了一系列碳化硅衬底抛光液， 包括：碱性粗抛液、酸性粗抛液、碱性精抛液，安储科技抛光液具有抛光效率高， 循环次数多，抛光后表面粗糙度低的优点。