当前,碳化硅(SiC)作为第三代半导体核心材料,在新能源汽车、光伏储能、5G通信、AI大数据、半导体先进封装、航空航天等领域快速渗透,已成为全球半导体产业的前沿制高点。在“中国制造2025计划”和“十四五”规划中均被列为重点发展领域,但我国与国际先进水平相比,在碳化硅晶体缺陷控制、生长速率提升、加工精度优化、良品率改善等关键技术环节仍存在差距,亟需通过产学研协同破解难题。
在此背景下,关键材料与制备工艺的协同创新成为突破瓶颈的核心路径之一。为加快推动我国SiC产业技术突破与成果转化,中国粉体网将于2026年5月28日在安徽·合肥举办 “第三代半导体 SiC 晶体生长及晶圆加工技术研讨会”,大会将汇聚国内行业专家、学者、技术人员、企业界代表围绕晶体生长工艺、关键原材料、生长设备及应用、碳化硅晶片切、磨、抛技术等方面展开交流探讨。
会议议题
2
大尺寸(8 英寸及以上)SiC 晶体生长技术难点及突破路径
3
SiC 单晶生长用高纯碳粉与硅粉的纯度控制(杂质去除)及制备工艺
4
碳化硅晶体生长装备(长晶炉)关键部件(保温层、加热系统)应用进展
5
碳化硅衬底研磨 / 抛光工艺优化及专用耗材(磨料、抛光液)技术创新
6
SiC/TaC 涂层制备工艺及其在晶体生长设备中的应用性能
7
第三代半导体碳化硅的先进切割技术(机械切割、等离子切割)对比
8
激光技术(3D 激光隐切、飞秒激光)在碳化硅切割及划片上的应用与损耗控制
9
高平整度 SiC 衬底化学机械抛光(CMP)技术研究与良率提升
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8 英寸碳化硅外延材料生长核心工艺(温度、压力控制)与关键装备选型
11
碳化硅衬底及外延层缺陷(微管、位错)检测技术与自动化设备应用
12
碳化硅晶片清洗工艺(超声清洗、化学清洗)与表面洁净度控制
13
SiC 晶体加工关键设备(抛光机、检测设备)国产化进程与性能对标
14
晶圆切割设备市场现状、技术趋势及国产替代案例分析
15
立方 SiC 单晶液相法生长的界面稳定性与晶体质量调控
16
车规级 SiC 晶圆可靠性测试(AEC-Q102 认证)适配技术
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SiC 晶体生长控制过程状态实时监测(温度、压力传感器)系统开发
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碳化硅全产业链供应链(材料 - 设备 - 加工 - 应用)协同整合模式